Οι Σχολές Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Υυσικών Επιστημών, Ηλεκτρολόγων Μηχανικών και Μηχανικών Τπολογιστών, Μηχανολόγων Μηχανικών, Φημικών Μηχανικών και Ναυπηγών Μηχανολόγων Μηχανικών του ΕΜΠ, σε συνεργασία με το Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής του ΕΚΕΥΕ «Δημόκριτος», λειτουργούν Διατμηματικό Πρόγραμμα Μεταπτυχιακών Σπουδών (ΔΠΜΣ) με τίτλο «Μικροσυστήματα και Νανοδιατάξεις»
Στο ΠΜΣ γίνονται δεκτοί πτυχιούχοι Θετικών και Πολυτεχνικών Σχολών Α.Ε.Ι. της ημεδαπής ή ισότιμων αναγνωρισμένων Σχολών της αλλοδαπής.